Neue Wege für die Microchips von morgen
Dr. Andreas Dorsel, Mitglied der Geschäftsleitung der ZEISS Sparte Semiconductor Manufacturing Technology (SMT), und Standortleiterin Katrin Ariki aus Wetzlar waren am 6. Februar bei den Industriegesprächen Mittelhessen zu Gast.
Die Photo-Lithographie ist einer der wichtigsten Schlüsselprozesse bei der Herstellung von Mikrochips. Die ZEISS Sparte Semiconductor Manufacturing Technology (SMT) spielt in diesem Hochtechnologiefeld eine herausragende Rolle: Mehr als 80 Prozent aller Mikrochips weltweit werden mit Lithographie-Optiken von Zeiss SMT hergestellt.
Mittels Lithographie-Optiken belichten Chiphersteller ihre Wafer mit Nanometer-Präzision – die Basis für die Fertigung von extrem leistungsfähigen Mikrochips. Die Güte und Form des Beleuchtungssystems sowie das Auflösungsvermögen der Projektionsoptik beeinflussen entscheidend, wie klein die Strukturen auf einem Mikrochip sein können. So haben die integrierten Schaltkreise inzwischen den sogenannten 5nm-Technologieknoten (technology node) in der Volumenherstellung erreicht – der 3nm-Knoten steht vor der Tür. Zum Vergleich: Ein menschliches Haar hat in etwa einen Durchmesser von 60.000 nm! Auch wenn die generierten Strukturen deutlich größer sind, als diese Bezeichnungen vermuten lassen, sind sie doch manchmal kleiner als die Wellenlänge des verwendeten Lichtes. Wie kann das sein?
Rund 80 interessierte Gäste kamen am 6. Februar zu den Industriegesprächen Mittelhessen, um Antworten auf diese Frage zu bekommen. Weitere 50 Zuhörer*innen hatten sich online dazugeschaltet. Dr. Andreas Dorsel, Mitglied der Geschäftsleitung von Carl Zeiss SMT, und Standortleiterin Katrin Ariki aus Wetzlar gewährten Einblicke in die Geschichte der optischen Lithographie von der i-Linie bis zur EUV-Lithographie. Sie zeigten Entwicklungen, Erfolge und Rückschläge auf – und ganz generell ihre Fähigkeit, die Grenze des Machbaren mit optischen Tricks immer wieder ein kleines Stückchen hinauszuschieben. Diese Fähigkeit hat der Lithographie ihre überlegene Ökonomie ermöglicht und sie zu einer der entscheidenden Schlüsseltechnologien des 21. Jahrhunderts gemacht.
Der Vortrag fand als Hybridveranstaltung an der Justus-Liebig-Universität statt. Die Vorträge für das Sommersemester 2023 sind in Planung und werden in Kürze auf unserer Website angekündigt.
Gruppenbild mit Dame: (v.l.n.r) Manfred Wagner, Oberbürgermeister der Stadt Wetzlar; Prof. Dr. Thomas Sure, Technische Hochschule Mittelhessen; Dr. Andreas Dorsel, Mitglied der Geschäftsleitung Carl Zeiss SMT, Oberkochen; Prof. Dr. Peter J. Klar, Direktor des I. Physikalischen Instituts an der JLU Gießen; Katrin Ariki, Standortleiterin Carl Zeiss SMT, Wetzlar; Rainer Dietrich, Wirtschaftsförderung der Stadt Wetzlar; Dr. Gert Homm von der Deutschen Physikalischen Gesellschaft und Dietmar Persch, Hauptgeschäftsführer der IHK Lahn-Dill.
Veranstaltung:
Neue Wege für die Microchips von morgen
Dr. rer. nat. Andreas Dorsel, Mitglied der Geschäftsleitung Carl Zeiss SMT, Oberkochen
Dipl. Phys. Katrin Ariki, Standortleiterin Carl Zeiss SMT, Wetzlar
6. Februar 2023, 18:00 Uhr
Hörsaal III der Physikalischen Institute
Justus-Liebig-Universität Gießen
Heinrich-Buff-Ring 14
35392 Gießen