Dr. Andreas Dorsel, Mitglied der Geschäftsleitung von Carl Zeiss SMT, und Standortleiterin Katrin Ariki. (Fotos: ZEISS SMT, Ralf A. Niggemann)
Wetzlar Network & DPG

Neue Wege für die Microchips von morgen

Mehr als 80 Prozent aller Mikrochips weltweit werden mit Lithographie-Optiken der ZEISS Sparte Semiconductor Manufacturing Technology (SMT) hergestellt. Dr. Andreas Dorsel, Mitglied der Geschäftsleitung von Carl Zeiss SMT, und Standortleiterin Katrin Ariki aus Wetzlar sind am 6. Februar bei den Industriegesprächen Mittelhessen zu Gast.

Die Photo-Lithographie ist einer der wichtigsten Schlüsselprozesse bei der Herstellung von Mikrochips. Mittels Lithographie-Optiken belichten Chiphersteller weltweit ihre Wafer mit Nanometer-Präzision – die Basis für die Fertigung von extrem leistungsfähigen Mikrochips. Lithographie-Optiken leisten einen entscheidenden Beitrag: Die Güte und Form des Beleuchtungssystems sowie das Auflösungsvermögen der Projektionsoptik beeinflussen entscheidend, wie klein die Strukturen auf einem Mikrochip sein können.

Die integrierten Schaltkreise haben inzwischen den sogenannten 5nm-Technologieknoten (technology node) in der Volumenherstellung erreicht und der 3nm-Knoten steht vor der Tür. Zum Vergleich: Ein menschliches Haar hat in etwa einen Durchmesser von 60.000 nm! Auch wenn die generierten Strukturen deutlich größer sind, als diese Bezeichnungen vermuten lassen, sind sie doch manchmal kleiner als die Wellenlänge des verwendeten Lichtes. Wie kann das sein?

Der Vortrag beleuchtet die Geschichte der optischen Lithographie von der i-Linie bis zur EUV-Lithographie, ihre Erfolge und Rückschläge – und ganz generell ihre Fähigkeit, die Grenze des Machbaren mit optischen Tricks immer wieder ein kleines Stückchen hinauszuschieben. Diese Fähigkeit hat der Lithographie ihre überlegene Ökonomie ermöglicht und sie zu einer der entscheidenden Schlüsseltechnologien des 21. Jahrhunderts gemacht.

Der Vortrag findet als Präsenzveranstaltung an der Justus-Liebig-Universität statt, kann aber auch online verfolgt werden.

Die Teilnahme ist kostenlos. Sie können sich zur Präsenzteilnahme oder virtuellen Teilnahme unter folgendem Link anmelden:

www.dpg-physik.de



Veranstaltung:

Neue Wege für die Microchips von morgen

Dr. rer. nat. Andreas Dorsel, Mitglied der Geschäftsleitung Carl Zeiss SMT, Oberkochen
Dipl. Phys. Katrin Ariki, Standortleiterin Carl Zeiss SMT, Wetzlar

6. Februar 2023, 18:00 Uhr

Hörsaal III der Physikalischen Institute
Justus-Liebig-Universität Gießen
Heinrich-Buff-Ring 14
35392 Gießen