Dr. Martin Becker bei seinem Vortrag an der JLU Gießen. (Bilder: Ralf A. Niggemann)
Dr. Martin Becker bei seinem Vortrag an der JLU Gießen. (Bilder: Ralf A. Niggemann)

Wetzlar Network & DPG

Materialprozessierung mit RF Ionenquellen

Am 23. April 2018 starteten die Industriegespräche Mittelhessen ins Sommersemester. Den Auftakt machte Dr. Martin Becker vom I. Physikalischen Institut an der JLU Gießen.

Für Dr. Martin Becker war es ein Heimspiel: Vor rund 80 interessierten Besuchern eröffnete er die Industriegespräche Mittelhessen im Sommersemester. Sein Thema klang anspruchsvoll und war es auch: Am 23. April sprach er über Materialprozessierung mit RF Ionenquellen – Dünnschichtdeposition und Oberflächenbehandlung.


In einer Arbeitsgruppe am I. Physikalischen Institut der JLU Gießen erforscht Dr. Martin Becker funktionelle Dünnschichten mittels unterschiedlicher Depositionsverfahren und Messmethoden. Dabei werden neben der Schichtoptimierung im Hinblick auf strukturelle, morphologische und elektrische Eigenschaften auch die Einflüsse der verschiedenen Depositionsparameter auf die Ausbildung unterschiedlicher Phasen beobachtet. So können Wachstumsdiagramme erstellt werden, die es ermöglichen, sowohl die Phasen als auch deren Eigenschaften zu wählen. Dies ist ein entscheidender Faktor etwa bei der reproduzierbaren Herstellung halbleiterbasierter Bauteile.

Das Publikum folgte den Ausführungen von Dr. Martin Becker mit großer Aufmerksamkeit. Auch nach dem Vortrag wurde bei einem kleinen Empfang im Foyer intensiv weiterdiskutiert.

 

Veranstaltung:

Materialprozessierung mit RF Ionenquellen – Dünnschichtdeposition und Oberflächenbehandlung
Dr. Martin Becker, I. Physikalisches Institut, JLU Gießen
23. April 2018, 18.15 Uhr
Hörsaal III der Physikalischen Institute
Justus-Liebig-Universität Gießen
Heinrich-Buff-Ring 14
35392 Gießen